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技術

微機電


單晶硅的材料強度比鋼鐵強10倍，而且擁有良好的彈性和穩定性

  • 產品的結構很堅固，重復性好，構造精確


加工精度 < 1 微米

  • 從而提供了移動平臺和基準平臺之間可以幾乎無誤差對接


高縱橫比的彈性梁

  • 縱橫比高于 20：1
  • 提供良好的設計靈活性


在運動方向的剛度是其他自由度方向剛度的千分之一或更軟

  • 可確保精確的運動控制

 		  
 



微機電驅動馬達是基于梳齒驅動結構

  • 梳齒結構是電容驅動器，利用的靜電力來驅動兩極的導電梳齒
  • 梳齒的排列能夠保證彼此之間不會接觸
  • 當施加電壓時，兩極梳齒結構會相互吸引，從而產生運動
  • 靜電力（ 和運動） 是與兩極梳齒之間的電容變化成正比的

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